Владимир Токарев - Стратегия электронной промышленности. Мероприятия по реализации стратегии

Но начальник отделения, что называется, меня достал. И я стал думать и… придумал: как на плохом неточном оборудовании с высокой точностью определять неоднородность тонких (порядка 0,2 мкм), полупроводниковых слоев на изолированной подложке по площади пластины.

На нашем нестандартном оборудовании для измерения профиля концентрации в неоднородных эпитаксиальных слоях для ПТБШ на изолированной подложке можно хорошо видеть начало отсечки (аналогичное отсечке протеканию тока в активной области транзистора при прикладывании достаточного напряжения к затвору транзистора. При этом точность измерения самого напряжения можно достичь очень высокой.

Таким образом, измеряя напряжение отсечки полупроводниковой пластины по ее площади, получается высокая точность измерения неоднородности полупроводниковых слоев.

Забавно, когда я впервые приехал на завод «ЭЛМА» (как показывает поиск в Интернете, сейчас на этом замечательном в советское время заводе организован технопарк – сдаются помещения в аренду), оказалось, что начальник отделения что-то не понял – он радиофизик, может поэтому. Измерение неоднородности проводилось на этом заводе с помощью аналогового прибора для измерения профилей концентрации, просто чуть большей точности, чем наш «самодельный» – изготовленный отделением специального оборудования аналоговый прибор.

Пльзуясь случаем отмечу, что наш руководитель отделения был человек эрудированный – знал по чуть-чуть из самых разных областей. Для руководителя – это неплохо. Однако руководитель должен отлично знать менеджмент. В советское время его никто не знал (менеджеры – согласно утопической теории Маркса-Ленина – помощники эксплуатации рабочих!), включая нашего начальника отделения.

Но, к сожалению, наш руководитель отделения очень не любил ответственность – когда нужно было принять важное решение, он куда-то бесследно исчезал и его найти было невозможно. Отсутствие любви к ответственности – это, по моему мнению, полная профнепригодность любого руководителя.

В 1982 году меня впервые назначили руководителем ОКР.

Целью работы было увеличение выхода годных неоднородных полупроводниковых структур арсенида галлия, выращенных методом эпитаксии на проводящей подложке.

Из-за проблем нестандартного оборудования по эпитаксии, годными получались 2 структуры из 10. остальные структуры получались либо слишком толстыми, либо слишком тонкими.

Один замечательных химик мне рекомендовал использовать статистические методы контроля. Но я увидел, что это не поможет улучшить количество годных в 2 раза.

Поскольку в то время я уже занимался прецизионным анодным окислением как управляемым методом стравливания части слоя (при послойном исследовании электрофизических параметров полупроводниковых структур), я предложил следующее решение —

Пусть специалист по эпитаксии сначала изготавливает 100% – брак, получая избыточную толщину полупроводниковых структур для диодов с барьером Шоттки СВЧ диапазона. А затем, используя анодное окисление, излишняя толщина удаляется.

В результате такого решения (к слову, оно подходит под ряд классических решений с применением АРИЗ) Мы стаи получать 100% выхода годных, а не 40%, как было заложено в ТЗ на ОКР 2 2 Интересно, что начальник лаборатории эпитаксии, кто предложил мне стать во главе этой ОКР, настоял на том, чтобы работа была сдана как в ТЗ – увеличение выхода годных в 2 раза, а не 100% годных. Он это объяснил так – если нам нужно будет подать какое-то рацпредложение – нам эти лишние проценты еще пригодятся в будущем. Но в реальности брака по указанной причине больше не было. (к слову, я получил отличный экономический эффект для своей диссертации – для получения степени к.т.н это нужно и важно, Справку мне предоставил опытный завод при нашем НИИ, который и финансировал эту ОКР).

Чтобы не откладывать важный вопрос на потом, я расскажу о примере в рыночное время.

Уже работая консультантом по управлению, у меня был договор с одним небольшим предприятием по производству автоматического и полуавтоматического оборудования для производства ПЭТ-тары (для лимонадов, пива и пр.) К слову, территориально это ЗАО располагалось на территории нашего бывшего НИИ, которое в рыночное время акционировалось (из-за падения оборонного госзаказа оно выживало тем, что сдавало многие площади в аренду).