Угроза подстерегает нашу микроэлектронику в другом: фабрика на «Микроне» нуждается в поставках различных материалов, кремниевых пластин, запасных деталей. И потенциально это очень уязвимые позиции. Хотя технологическим партнером «Микрона» является французская компания STMicroelectronics, поставка оборудования согласовывалась с Госдепом США, и от его позиции будет во многом зависеть дальнейшая эксплуатация самых современных линий.
Как восстать из праха
Как мы уже отметили, об электронном машиностроении в России можно однозначно сказать: как промышленная отрасль оно умерло. Это означает, что любая попытка, скажем, расширения производства на «Микроне», а тем более создание нового производства потребует покупки соответствующего оборудования на Западе. Ситуация усугубляется тем, что рынок этого оборудования очень ограничен. Например, современные установки фотолитографии производят фактически две фирмы в мире, ASML и Canon, поэтому перекрыть поставки очень легко.
А поскольку любая электроника потенциально имеет двойное назначение, то в нынешних условиях мы ее вряд ли получим. Значит, воссоздание электронного машиностроения — самая актуальная задача. И при всей своей сложности она облегчается тем, что в академических институтах, несмотря на все проблемы РАН, продолжаются на вполне мировом уровне разработки важнейших элементов ключевых установок для производства микроэлектроники нового поколения: фотолитографические, установки прецизионного травления и диффузии.
В частности, мы писали (см. «Сложить нанопасьянс», «Эксперт» №4 за 2012 год) о работах группы ученых, занятых созданием важнейших узлов самых современных фотолитографических установок и самой установки. Они сотрудничают с ASML, ведущей мировой компанией по производству подобных установок, и пытаются убедить наше правительство в необходимости восстановления современного электронного машиностроения в России, тем более что разработка и производство фотолитографических установок, сочетающих в себе прецизионную оптику и механику и уникальные источники излучения, могут стать хорошей школой для развития всего спектра наукоемкого машиностроения.
Известно также, что в компании НТ-МДТ в Зеленограде ведется проработка многолучевой электронной литографии, разрешение которой составляет единицы нанометров. В Физико-технологическом институте РАН разрабатываются установки прецизионного травления и диффузии. Несколько лет назад, основываясь на этих достижениях, генеральный конструктор ОАО «НИИМЭ и “Микрон”» академик РАН Геннадий Красников, академик РАН Александр Орликовскийи член-корреспондент РАН Николай Салащенкообратились в правительство с предложением создать в России программу развития электронного машиностроения. Тогда правительство промолчало, но, может быть, санкции убедят его в том, что это необходимо.
Построить пирамиду
Если санкции ограничатся отказом в поставке самих станков, то мы, при всех сложностях, сможем заместить их продукцию своими разработками. В том числе потому, что самые сложные узлы, обеспечивающие основные характеристики станков, практически все станкостроители мира закупают у относительно немногочисленного круга компаний.
Конечно, ограничения могут коснуться и импортируемых узлов, например высокоточных шпинделей или блоков ЧПУ. Тем более что Вассенаарские соглашения предусматривают такую возможность. Но и эти узлы мы, скорее всего, сможем заместить своими.
Однако если Запад пойдет еще дальше и будет вводить дополнительные ограничения, которые коснутся уже следующего уровня комплектации, то могут возникнуть более сложные проблемы. Например, мы сможем сделать мотор-шпиндель, но высокоскоростные прецизионные подшипники, которые для него необходимы, — не сможем. Так же как направляющие качения, редкоземельные магниты и прецизионные червячные пары для приводов.
Проблема в том, что для изготовления всех этих прецизионных механических узлов необходимо полноценное машиностроительное производство. То есть для создания станкостроительной промышленности, защищенной от превратностей мировой политики, потребуется не просто разработка станков, даже самых совершенных, но выстраивание всей пирамиды предприятий отрасли, от подшипниковых заводов до станкосборочного производства, объединенных в комплекс.
Прощай оружие?
Читать дальше
