Виктор Лучинин рассказывает, что благодаря родителям-медикам был увлечен биологией и медициной и потому знал, что углерод и кремний — основополагающие элементы для возникновения различных биологических объектов. В ходе обсуждения с коллегами вопросов политипизма ему пришло в голову, что принцип матричного копирования, то есть генетическая передача структурной информации, универсальный для живой природы, можно перенести и в материаловедение. «Нашей группе удалось, — вспоминает ученый, — сформировать технологическую концепцию, основанную на биологическом принципе матричной репликации и представлениях о кинетическом ростовом фазовом переходе. Матрикс — от латинского mater: “основа”, “мать”, то есть важна структура “материнской” подложки, на которой происходит рост материала. Это очень похоже на эффект самокопирования биотканей. Эволюция подразумевает изменение, динамику. Я увидел, что в зависимости от скорости осаждения вещества на поверхность твердой фазы мы также можем варьировать структуры модификаций материала и закреплять его свойства. В результате были получены эпитаксиальные слои карбида кремния с “островками” иного политипа в заданной конфигурации». Так сформировалась принципиально новая для тех лет технологическая концепция — эволюционно-генетическая, причем перспективы ее развития и использования распространились далеко за пределы собственно карбидокремниевой технологии.
Должны зарабатывать сами
В аспирантуре Виктор Лучинин продолжил работать по карбидной тематике, по-прежнему занимаясь процессами эпитаксии карбида кремния методом сублимации и проблемами политипизма. Большой объем работы вместе с аспирантами выполняли студенты, которые охотно шли в лабораторию ради интересной работы и возможности прилично подработать, благо у ЛЭТИ было много хоздоговоров. «Без студентов экспериментальная наука в вузе невозможна, — говорит Лучинин. — Более того, благодаря научному авторитету нашей группы мы могли выбирать тогда лучших студентов и продолжаем эту практику сейчас».
Название диссертации звучало тогда необычно: «Эволюционно-генетическая модель политипизма карбида кремния». Научный руководитель Лучинина Юрий Таиров из-за консервативной реакции оппонентов: «У нас за концепции кандидатских степеней не присваивают» — предложил переформулировать название работы на другое, с более привычными для лэтишных технократов терминами, — «Гетероэпитаксия и микропрофилирование в технологии карбида кремния». Блестяще защитив свою научную работу, Лучинин продолжает работу в лаборатории в качестве младшего научного сотрудника, а потом получает место ассистента на кафедре. По его рассказу, он всегда занимался технологиями, и, памятуя об этом, его отряжают в Ленинградское объединение электронного приборостроения «Светлана», флагман советской электронной промышленности и ведущее предприятие ВПК в этой сфере. При объединении работал факультет повышения квалификации инженеров, где преподаватели ЛЭТИ читали лекции по курсу «Технология полупроводниковых приборов». Проблема заключалась в том, что профессура пыталась заново научить уже состоявшихся технологов и конструкторов тому, «как и что делается». Инженерно-технических же работников «Светланы», и без того знавших реальное производство лучше институтских преподавателей, больше интересовали вопросы, связанные с конкретными физико-химическими проблемами и технологическими нюансами, с которыми им приходилось сталкиваться по ходу работы. Курс Виктора Лучинина, всегда старавшегося разобраться в глубинных процессах применительно к полупроводниковым технологиям, получает популярность, молодой преподаватель успешно читает здесь лекции четыре года, попутно осваивая тонкости микроэлектронного производства.
С такой «птичкой» можно лететь в разведку
В 1984 году Лучинин занимает должность доцента на кафедре диэлектриков и полупроводников. Двумя годами позже в ЛЭТИ приступают к запуску нового лабораторного комплекса с так называемой гермозоной, на строительство которого государство выделило приличные деньги, и под эту статью можно было покупать приборы. В частности, были приобретены редкие тогда просвечивающий и растровый электронные микроскопы. Так началось комплектование оборудованием будущего Центра микротехнологии и диагностики (ЦМИД).
В ЛЭТИ был объявлен своеобразный конкурс на лучшие предложения, как эффективнее воспользоваться исследовательскими возможностями нового комплекса. Лучинин выдвинул два тезиса, объединенных в единую концепцию создания центра. С технологической точки зрения он должен был быть ориентирован в первую очередь на корпускулярно-пучковые технологии и диагностику, а с точки зрения организационной — превратиться в центр коллективного пользования, в отличие от других поданных проектов, предлагавших, по сути, растащить лабораторные площади по отдельным кафедрам. Идея, чтобы гермозона ЛЭТИ развивалась как целостная система, а не представляла собой эклектическую совокупность «удельных княжеств» в виде лабораторий разных кафедр, была поддержана Юрием Таировым, тогдашним проректором ЛЭТИ по научной работе, а с его подачи и научным советом института. На самого Виктора Лучинина возложили обязанности руководителя созданного межвузовского отдела микроэлектронной технологии, заведующие же кафедрами вошли в коллегиальный научно-технический совет при МОМЭТ.
Читать дальше
