Компьютерра - Журнал Компьютерра №771

Ученые считают, что дальнейшее совершенствование устройства путем изменения его геометрии, формы управляющих импульсов и подбора характеристик магнитного поля позволит создать хороший квантовый эталон тока. ГА

Сотрудники Национальной лаборатории Лоуренса в Беркли построили ионную пушку, которая способна напылять металл на полупроводниковые чипы в вакууме. Новинка обещает произвести революцию в целом ряде технологических процессов, снизив стоимость и повысив качество чипов.

Обычная ионная пушка, использующаяся при изготовлении чипов, представляет собой очень сложный агрегат. В нем создается хитрая комбинация электрических и магнитных полей, обеспечивающих несколько стадий процесса получения и напыления ионов металла. Как правило, все начинается с инертного газа аргона, который ионизируется и превращается в плазму. Положительно заряженные ионы аргона ускоряются электромагнитным полем и бомбардируют катод из нужного металла (например, меди), выбивая оттуда атомы, которые превращаются в ионы и попадают на чип-анод, формируя на нем металлический слой. К сожалению, вместе с металлом на чип попадает и газ, ухудшающий качество покрытия. Кроме того, ток разряда в плазме вблизи катода обычно на порядок больше тока полезных ионов металла на чип, а это приводит лишь к дополнительному разогреву устройства. В результате приходится ограничивать скорость напыления, иначе чип, да и сама пушка, могут просто-напросто расплавиться.

Предложив в конце прошлого десятилетия импульсный вариант пушки, ученые решили проблему нагрева. В этом случае часть ионов металла удается направить обратно на катод так, чтобы ими (вместо ионов аргона) выбивать дополнительные атомы металла. Количество благородного газа в плазме уменьшается, а качество покрытия повышается.

В новом варианте ионной пушки от инертного газа и вовсе удалось избавиться. Напыление идет в глубоком вакууме при самоподдерживающемся процессе выбивания атомов металла из катода. При этом ток на мишень оказывается заметно больше тока разряда, что ведет к уменьшению нагрева. Отсутствие газа исключает образование дефектов в покрытии и способствует более глубокому проникновению ионов металла в обрабатываемый чип. Качество проводников повышается, а вместе с этим снижается и процент брака.

оскольку инертный газ больше не нужен, ионную пушку можно использовать для напыления даже в космосе. В экспериментах удалось получить рекордное значение тока ионов меди на мишень - 250 ампер, что гораздо больше предельных возможностей других методов. К сожалению, сложный самоподдерживающийся процесс образования ионов в новой пушке сильно зависит от свойств используемого металла. И теперь в планах ученых - адаптировать новый способ для ниобия, сверхпроводящие покрытия из которого заманчиво использовать в ускорителях элементарных частиц. ГА

Уже во второй раз компания HP объявляет открытый конкурс инновационных исследований, в ходе которого команды со всего света будут претендовать на щедрые гранты для реализации своих проектов. За победу поборются научные группы из университетов и НИИ, способные предложить нечто новое по пятнадцати темам, названным организаторами. Среди них: облачные вычисления, новые типы интерфейсов и т. д. Те конкурсанты, что смогут убедить оргкомитет в перспективности своих идей, вправе рассчитывать на финансовую поддержку в размере 50–75 тысяч долларов. Прием заявок открыт на сайте hpl.hp.com/open_innovation/irp. АЗ

***

Базирующаяся во Флориде компания T3 Technologies подала в Европейскую Комиссию жалобу на IBM, обвинив Голубого Гиганта в нарушении антимонопольного законодательства. Поводом для конфликта послужили мэйнфреймы IBM. T3 настаивает, что, поставляя свои мощные вычислительные комплексы со специализированным системным ПО и вместе с тем отказываясь лицензировать его для использования на аппаратных платформах сторонних разработчиков, IBM препятствует здоровой конкуренции. Более того, считает Т3, Голубой Гигант фактически монополизировал сегмент мэйнфреймов, вытеснив оттуда небольшие фирмы. Заметим, что аналогичные претензии к IBM уже предъявляла компания Platform Solutions, специализирующаяся на разработке технологий для систем корпоративного класса. Однако в прошлом году IBM просто-напросто купила эту фирму, и конфликт таким образом был улажен. Чем закончатся споры между IBM и T3 Technologies, пока не ясно, но возможно, что до принудительных судебных постановлений дело и на сей раз не дойдет. ВГ